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四氟化钛
POST TIME:2019-01-06 00:04编辑:摆渡化学
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产品名称:四氟化钛
CAS:7783-63-3
别名:头孢呋辛酸;四氟化钛;氟化钛(IV);氟化钛(IV),98%;头孢呋辛酸(中间体);四氟化钛,99%;氟化钛(IV)25G;四氟化钛(IV)
英文名:Titanium tetrafluoride
熔点
>400°C
沸点
284°C
密度
2.798 g/mL at 25 °C(lit.)
形态
Powder and/or Chunks
颜色
White
水溶解性
Insoluble in water.
敏感性
Moisture Sensitive
Merck
14,9479
CAS 数据库
7783-63-3(CAS DataBase Reference)
NIST化学物质信息
Titanium fluoride(7783-63-3)
化学性质
四氟化钛为有吸湿性的白色粉末,相对密度2.798,熔点284℃,常压下284℃即升华。易溶于水并分解,不溶于乙醚。在100℃时与硅氯仿反应生成硅氟仿。可与某些胺类及吡啶等形成加合物。
用途
用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积,以制作低电阻、高熔点的互连线。
生产方法
以四氯化钛和氟化氢为原料制备四氟化钛,将50%的四氯化钛按化学计量比的量装入铂制或铜制的反应器中,滴加氟化氢使其反应,将反应物静置数小时,再徐徐加热,加热至200℃时蒸馏出含氟化氢的氯化氢,再继续升温至284℃以上使四氟化钛升华,经冷却即得到四氟化钛粉末产品,用密封的铜制容器贮存。其反应如下:
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