四氟化钛

POST TIME:2019-01-06 00:04编辑:摆渡化学 READ:

  • 产品名称:四氟化钛
  • CAS:7783-63-3
  • 别名:头孢呋辛酸;四氟化钛;氟化钛(IV);氟化钛(IV),98%;头孢呋辛酸(中间体);四氟化钛,99%;氟化钛(IV)25G;四氟化钛(IV)
  • 英文名:Titanium tetrafluoride
    • 熔点 >400°C
    • 沸点 284°C
    • 密度 2.798 g/mL at 25 °C(lit.)
    • 形态Powder and/or Chunks
    • 颜色White
    • 水溶解性 Insoluble in water.
    • 敏感性 Moisture Sensitive
    • Merck 14,9479
    • CAS 数据库7783-63-3(CAS DataBase Reference)
    • NIST化学物质信息Titanium fluoride(7783-63-3)
    • 化学性质 四氟化钛为有吸湿性的白色粉末,相对密度2.798,熔点284℃,常压下284℃即升华。易溶于水并分解,不溶于乙醚。在100℃时与硅氯仿反应生成硅氟仿。可与某些胺类及吡啶等形成加合物。
    • 用途 用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积,以制作低电阻、高熔点的互连线。
    • 生产方法 以四氯化钛和氟化氢为原料制备四氟化钛,将50%的四氯化钛按化学计量比的量装入铂制或铜制的反应器中,滴加氟化氢使其反应,将反应物静置数小时,再徐徐加热,加热至200℃时蒸馏出含氟化氢的氯化氢,再继续升温至284℃以上使四氟化钛升华,经冷却即得到四氟化钛粉末产品,用密封的铜制容器贮存。其反应如下:
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